洁净室手套有一些常规的性能指标,例如ESD性能、洁净度等。本文介绍的是洁净手套的微观性能指标。
1、 FTIR:其全称是Fourier Transform Infrared Spectroscopy。 中文含义是指“傅立叶变化红外线光谱”。此项测试能检测出洁净手套是否含有硅油(silicon oil)、氨基化合物(amide)和增塑剂(DOP),及其含量的多少。
2、IC:其全称是Ionic Chromatography。 中文含义是指“离子色层分析法”。 此项测试能检测出洁净手套表面的可提取得离子含量水平。它是评估手套洁净度的主要指标之一。
3、LPC:其全称是Liquid-borne Particle Count。 中文含义是指“液体悬浮尘粒数量”,此项测试能检测出洁净手套表面的尘粒含量。它是评估手套洁净度的主要指标之一。
4、NVR:其全称是Non-Volatile Residue。中文含义是指“非挥发性残留物”,此项测试能检测出洁净的套表面非挥发性残留物含量的多少。 |